產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆閉管式擴(kuò)散系統(tǒng)，有效降低生產(chǎn)成本，更潔凈、更環(huán)保

◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性

◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門(mén)等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制

◆采用懸臂送片器，操作方便、無(wú)摩擦污染等

◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種保護(hù)功能

◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好

◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性

◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命

主要技術(shù)指標(biāo)

◆工作溫度：400～1100℃

◆有效口徑：適應(yīng)石英管外徑Ф320mm

◆裝片數(shù)量：400片/管

◆工藝管數(shù)量：1～4管（可選擇）

◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 1100mm（可根據(jù)用戶(hù)要求定制）

◆恒溫區(qū)精度：≤±1℃（600～1100℃）

◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±1℃/24h（600～1100℃）

◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度：15℃/min(300～1300℃) 大降溫速度： 5℃/min (1300～900℃)

◆實(shí)時(shí)顯示工藝過(guò)程恒溫區(qū)內(nèi)前、中、后三點(diǎn)的實(shí)際溫度

◆送片方式：采用懸臂送片器，進(jìn)退舟速度5mm/min～1000mm/min連續(xù)可調(diào)

◆凈化臺(tái)潔凈度：100級(jí)